今年9月,一批拥有自主知识产权的单反应台等离子体刻蚀设备调试完毕,在中微半导体设备(上海)有限公司(下称中微)整装待发,准备运往韩国。自2014年2月中微宣布获得韩国先进存储芯片生产厂商购买中微单反应台等离子体刻蚀设备的订单后,双方已合作两年多。而韩国这家企业选择中微的原因则是在生产线上严格验证后,发现中微的设备取得了比其他同类竞争产品更加优异的芯片刻蚀效果。
以中国为基地,为全球领先的半导体和LED芯片制造商提供拥有自主知识产权的微观高端半导体设备是中微的企业定位,中微部分设备的芯片刻蚀效果仅有几家国际大企业才能达到。截至2016年10月,中微已有520多个刻蚀反应台在海内外30多条生产线上高质量、稳定地生产了3800多万片65纳米到16纳米晶圆。此外,中微的硅通孔刻蚀设备和金属有机化合物气相沉积设备在客户生产线上表现出了优异的性能和较高的生产效率。“作为一家高新技术企业,技术研发和知识产权是我们产品立足国际市场的重要保证。”中微董事长兼首席执行官尹志尧在接受中国知识产权报记者采访时表示。
回国创业 填补技术空白
2004年,年届60的尹志尧搭上了由美国飞往中国的飞机,回到祖国开始创业。此前,他已在全球知名半导体设备公司——美国应用材料公司担任全球副总裁,并为公司提交多件美国专利申请并获权。在当时,我国集成电路产业的发展进入加速阶段,一批芯片制造企业逐渐崛起,但本土半导体设备制造企业却处于较低水平。“工欲善其事,必先利其器。”身为该领域专家,尹志尧意识到,无法掌握拥有自主知识产权的半导体制造设备长此以往将制约我国芯片设计、制造。于是,他毅然放弃在美国的高薪工作,和业内15位怀着与他同样抱负的年轻人一起回国成立了中微。尹志尧告诉记者,确定回国后,他与其他15人达成共识,回国不带任何原任职公司的商业秘密和技术材料,而之后提交的专利申请或创造都要基于社会的公开材料进行再创新,如已发表论文等,而不是基于原来所服务公司的知识产权,以保证新公司不会存在知识产权风险。
“在公司成立之始,公司管理层就深刻领会到正确管理好知识产权和妥善处理好知识产权问题是企业健康成长和发展的关键之一。”中微知识产权执行总监姜银鑫表示,中微所处的技术领域为高端半导体设备,竞争对手大多为全球500强企业,技术研发实力、财力和知识产权管理能力均十分强大,多年来累积的大量专利筑起了较高的知识产权壁垒,对中微而言,知识产权法律风险高,必须在这种竞争环境中巧妙地开辟出一条创新之路,在技术创新上有所突破。
分析布局 沉着应对纠纷
公司成立3年后,中微自主研发出的12英寸芯片刻蚀机刚准备进入国际市场就遇到了知识产权诉讼。当时,美国应用材料公司在美国北加州联邦法院起诉中微侵犯其商业秘密。
中微积极应诉,尹志尧同意美方律师对公司600余万件软件和文件进行调查,调查人员可以到每个办公室搜查。经过近两年的调查,调查人员没有找到相关证据,但两年的应诉也耗费了中微巨额费用。这样的消耗对于刚成立3年的企业而言代价无疑是巨大的,于是中微开始反击,在美国联邦法院与上海第一中级法院反诉对方不正当竞争。最终,双方在2010年和解,并达成合作意向。
然而一波未平一波又起,美国泛林研究公司于2009年1月在台湾地区“智慧财产法院”起诉中微侵犯其两件中国台湾发明专利。由于中微知识产权部此前查阅了大量专利,通过排查、识别、分析潜在的知识产权风险和机会,确保产品研发时专利不侵权或实现有效专利规避。因此,中微以充分的证据向台湾地区“智慧财产法院”和台湾地区“智慧财产局”证明其不侵权,在两周内向“法院”提供了40余份文件,并最终获得“法院”支持,判定其不侵权。
“成立不久的中微能成功应对两起来自强劲对手的境外知识产权诉讼,在国内外半导体业内引起了很大反响,消除了国际客户对中微产品的知识产权顾虑,使客户相信中微的知识产权管理水平和海外诉讼应对能力,帮助中微顺利打开了国际市场。”在姜银鑫看来,知识产权是企业可平等参与的国际竞争规则。中国企业应该充分利用这一战略性武器,活用知识产权规则,帮助企业实现商业战略并走向海外。“对中国企业而言,知识产权是进军海外市场必须跨过去的一道坎,要掌握这一本领,勇敢地去面对、去准备、去应对。” 姜银鑫表示。